IHP在市场上拥有首个能够快速可靠地进行晶圆质量控制且不会造成材料损坏的系统

Client: IHP
描述:
高性能创新(IHP)是世界领先的硅/锗电子领域的研究机构之一。它在半导体技术、材料研究、高频电路设计和系统解决方案方面拥有丰富的经验。其技术和电子电路属于世界上最强大的技术之一。
  • 行业:微电子和信息技术领域的研究和开发
  • 总部:德国法兰克福(奥德)
  • 全球员工:350+名员工

目录

挑战:如何更快、更可靠地、无接触地测量用于微电子制造的晶圆

IHP需要对先进材料的晶圆进行快速可靠的非接触电导率和其他电学特性测量,以用于微电子产品的制造。

当今可靠的方法要么需要接触测量,要么速度太慢。那些非常准确的方法速度太慢,无法测量大面积;而那些可以快速测量大面积的方法则不准确。

半导体晶圆

das-Nano的解决方案:非破坏性晶圆测量工艺的专利技术

das-Nano的产品Onyx是IHP问题的完美解决方案。Onyx是市场上首个旨在提供石墨烯、薄膜和其他二维材料非破坏性、非接触全面特性表征的系统。 Onyx是一种基于太赫兹光谱学的专利系统,通过对从0.5平方毫米到大面积(平方米)的特性进行表征,弥合了宏观和纳米尺度工具之间的差距,增强了研究材料的产业化。这项技术无害,不需要样品准备,并允许测量样品质量的空间分布。空间分辨率在几百微米的量级上,可以快速表征大样品区域,而不需要使用显微镜方法。
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在单次测量中,该系统能够提供以下物理特性:

Onyx符合IEC TS 62607-6-10:2021技术规范。IEC TS 62607-6-10:2021涉及使用太赫兹时域光谱法测量基于石墨烯的材料的薄膜电阻。

结果:快速可靠的晶圆质量控制,无材料损坏

因此,Onyx 提供了一种无损、非接触、快速且更可靠的高级纳米材料晶圆质量控制过程,以集成到微电子组件中。由于是无损检测,每个部分都可以更可靠和高效地单独分析。通过对整个晶圆区域而不是单个点进行映射,它可以在生产过程的最早阶段识别出有缺陷的部分.

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